石英管式微波等离子体装置说明书
目 录
一、 设备简介及使用范围
二、 技术参数及特性
三、 设备安装
四、 操作及注意事项
五、 设备维护
六、 常见故障及维护办法
简介及使用范围
1. 设备简介
该设备利用频率为2.45GHz的微波激励稀薄气体放电，从而产生等离子体。真空反应室为Φ50mm的石英管腔体。放置样品的基片台可以方便地在反应腔体内上下升降调节。
基片台位于石英管反应腔体的中心，该基片台除了基本的上下升降功能外，同时具有水冷控温的功能，双层水冷支架与基片台可方便地拆卸与维护，即使样品以不同的形态（片状、块状、粉末状等）出现，更换或改装基片台也十分方便。
石英管反应腔两端有双层水冷套作降温保护，端口以不锈钢部件固定并密封（加橡胶）石英腔体，以确保反应腔的**稳定工作。
该设备的真空系统采用2XZ-2型旋片真空泵，极限真空6×10－1帕，抽速2升/秒，额定转速1400转/分，机械泵与真空室之间设置有电磁阀和高真空隔膜阀，旁路管道设置另一隔断阀（高真空微调阀），以便于真空系统运行**及工作时反应气体压强的灵活控制。真空密封采用金属和橡胶密封，通常：相对不动接口采用金属铜密封，相对可动接口采用橡胶密封。
真空测量采用数字压阻式真空计，用来测量反应腔内的工作气压。
主要电气配置：
1) 真空泵：2XZ-2型旋片真空泵采用单相220V交流电源，对实验室电源无特殊要求。
2) 磁控管：采用工业上通用的磁控管，该磁控管具有使用寿命长、可靠性高的特点，维护方便。
3) 真空计：采用压阻式真空计，用于测量工作时的工作气压。
4) 温控仪：用于冷却水循环系统中的制冷及水温控制。
5) 500W微波功率源：通过调节磁控管阳极电压的方法调节微波功率的输出，利用简单、可靠、易维护的电路实现微波功率的连续可调输出。
6) 冷却水：装置自带循环冷却水，对实验室无水源要求，既节水又方便。
二、技术参数及特性
1. 反应室工作压强：几百帕～十千帕
2. 反应室极限压强: 6×10－1帕
3. 反应室尺寸： Φ50mm
4. 微波功率： 0～500W
5. 基片温控： 200～1000℃
三、设备安装
1. 安装环境要求
1) 供电： AC220V，50Hz,大功率2000W
2) 温度、湿度、气源及冷却水：应保障设备工作稳定正常
3) 安装室：室内整洁，空气流通，无尘埃。
4) 接地线：室内具有独立接地线＜3Ω
2. 安装程序
1） 确认安装环境
2） 检查设备良好情况（运输过程中是否造成损坏）
3） 安装真空泵、抽气管道、隔断阀及其它配件
4） 连接电气柜至主机各电缆线
5） 确认各电气部件完好无损
6） 升降双层水冷支架，确认石英管、基片台及其它部件完好无损
7） 连接并启动确认循环控制冷却水完好
8） 连接好设备地线。
四、操作及注意事项
1. 检查确认设备各部件完好，连接**（注意接地）。
2. 接通总电源，打开总电源开关按钮，确认冷却水箱水容量及MTC-2000水冷控制系统（详细请参照MTC-2000操作说明书）已设定完成后，打开冷却水开关按钮。
3. 打开隔膜阀，确认气路连接规范完好后打开机械泵开关按钮，抽真空约5分钟使本底真空达到所需要求。
4. 开启流量计开关，给真空室输送工作气源。
5. 开启高压开关按钮，将阳极电流加载至约15mA，关闭隔膜阀，调节微调阀使工作气压达到所需要求。
6. 调节短路活塞及工作平台高度使装置稳定工作。
7. 试验结束时，将阳极电流调至0，关闭高压开关按钮，关闭气路，关闭机械泵，关闭冷却水，关闭总电源。
五、设备维护
1. 注意保持环境整洁卫生。
2. 冷却水经常更换以保证循环水系统正常工作。
3. 及时清洁真空反应室。
4. 所有电气旋钮及开关状态在使用前一定要确认是否在“原始”状态。
5. 真空系统维护：
1) 注意真空泵换油
2) 注意反应室及管道清洁
3) 注意密封面清洁
4) 真空系统停机前一定要先关真空计电源，然后再进行其它 操作。
六 常见故障及维护办法
1）在加上微波功率后，放电没有发生，无等离子体。
可能的原因：反应腔内的气压太高，等离子体难于激发产生。也可能是反射板位置不匹配。
解决办法：完全打开隔膜阀，或调节反射板的位置。
2）在正常工作气压下，等离子体球不在基片台的上方，而是靠着石英管壁。
可能原因：反射板位置不合适，需进行调节。